金属剥离和后清洗一体化解决方案
该方案整合了众鸿电子的金属剥离设备和单片旋转式清洗设备，实现金属层的高效剥离与晶圆清洗的连续化操作。系统优化了化学剥离参数和清洗步骤，减少残留物和污染，适用于后光刻处理，确保晶圆表面清洁和工艺可靠性。
自研涂胶显影解决方案
该方案基于众鸿电子自主研发的涂胶显影设备，提供从涂胶到显影的全套自动化处理过程。系统采用单片旋转式设计，支持精确控制胶层厚度和均匀性，适用于光刻工艺中的前处理步骤，确保晶圆表面的高质量涂层和显影效果。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
58
经营范围
半导体、液晶面板、太阳能设备、电子线路板、机械配件、电子产品、光源器具、陶瓷配件的研发、销售、维修，化工原料及产品（除危险化学品、监控化学品、民用爆炸物品、易制毒化学品）、五金配件、建筑材料、电子设备耗材、电脑配件（除计算机信息系统安全专用产品）的销售，从事半导体设备、电子科技、计算机科技领域内的技术开发、技术转让、技术服务、技术咨询，货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
半导体涂胶显影设备及相关核心设备的研发、制造与销售
上海众鸿电子科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,402万
2011-01-31
金浩天
021-50124230
admin@zh-et.com.cn
中国（上海）自由贸易试验区张江路75号10幢505室