液体流速流量控制器技术
该技术基于高精度传感器集成、低颗粒物污染材料选择和实时反馈控制系统，实现了半导体级流体控制的突破。创新点在于通过自主研发解决了流量计在亚微米级别精度控制、流体路径超低颗粒物（通常要求低于10个/毫升）和动态流量精确调节上的挑战，打破了国外垄断。技术细节包括使用非侵入式测量原理和抗腐蚀材料，确保在严苛的半导体制造环境中保持稳定性和可靠性。
融资次数
2
专利数量
-1
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；集成电路销售；集成电路设计；半导体器件专用设备销售；环境保护专用设备销售；电容器及其配套设备销售；电子产品销售；技术进出口；进出口代理；集成电路制造；半导体器件专用设备制造；环境保护专用设备制造；电容器及其配套设备制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
清科珈合主营开发和提供半导体行业的流体控制系统解决方案，包括高效液体管路和高端流量控制器，专注于实现国产化技术突破，以满足集成电路制造中对高精度、高洁净度和精准控制的核心要求。
苏州清科珈合科技发展有限公司
其他有限责任公司
￥118万
2023-04-04
陈铁东
苏州市高新区五台山路189号4幢（1-3）