硅基外延片
                            
                                                硅基外延片是在单晶硅片上通过化学气相沉积(CVD)外延生长的硅薄膜层。产品层厚度精确控制(纳米级),电阻率范围在0.001-100Ω·cm之间,可实现低缺陷密度(<10缺陷/cm²)和高载流子迁移率。主要用于功率半导体器件和光电器件等高端芯片的制造。
                    石墨电极
                            
                                                石墨电极是用于半导体设备的高温处理炉和热处理设备中,作为导电和加热元件。产品采用高纯度石墨(碳含量>99.95%),具有优异的耐高温性能(可达3000°C)、低热膨胀系数和良好的导电性。尺寸可定制,表面经过特殊涂层处理以减少灰尘污染,广泛应用于晶圆生长和退火过程。
                    单晶硅片
                            
                                                单晶硅片是通过切克劳斯基法(Czochralski method)生长的单晶硅锭切割而成,直径包括200mm和300mm等规格。产品厚度均匀(通常为0.725mm),表面粗糙度小于0.5nm,具有极高的结晶完整性。应用于制造微处理器、存储芯片等集成电路的核心基板,能满足5nm以下先进制程的精度要求。
                    半导体级多晶硅
                            
                                                半导体级多晶硅是高纯度硅材料,主要用于半导体晶圆制造的原料。产品纯度为99.999999%(9N级),具有低杂质含量(如金属杂质低于0.1ppb)和均匀的晶格结构。适用于集成电路芯片的生产过程中,作为单晶硅锭的生长材料。