多级循环化学清洗工艺
该工艺基于多级槽体设计，实现不同清洗化学剂的动态配比和循环使用，通过实时监测和反馈控制确保清洗精度。创新点在于采用电化学催化分解技术处理废液，将有害物质转化为无害物质，满足先进制程节点（如14nm以下）的低损伤和高可靠性要求。
高频兆声波湿法清洗技术
该技术采用高频兆声波能量激发清洗液，通过空化效应高效去除晶圆表面颗粒和杂质，结合先进的流体控制系统优化清洗均匀性。创新点在于集成臭氧水处理系统以减少化学试剂用量，同时实现废水闭环回收，显著降低环境负荷，符合绿色半导体制造标准。
融资次数
6
员工数量
100-499人
专利数量
117
经营范围
微电子产品、微电子生产设备的设计、开发、制造及销售；技术开发、技术服务、技术转让；自营和代理各类商品及技术的进出口（国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）许可项目：检验检测服务（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准）
主营业务
半导体清洗设备的研发、设计、制造及相关新工艺开发
无锡华瑛微电子技术有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥1,664万
2008-11-28
WEN SOPHIA ZIYING
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