碳化硅衬底加工技术
基于化学机械抛光（CMP）和精密研磨工艺，结合山东大学开发的表面缺陷抑制技术。该技术采用多步加工序列（包括金刚石线切割、粗/精磨和CMP抛光），通过智能参数控制系统（如压力、转速和抛光液配比调整）实现表面粗糙度Ra<0.2nm和平整度TTV<2μm。创新点在于开发了碳化硅专用抛光液配方和实时在线检测模块，大幅减少加工损伤并提高衬底产线良率。
碳化硅单晶生长技术
南砂晶圆采用物理气相传输法（PVT），基于山东大学晶体材料国家重点实验室的研发成果。该技术通过精确控制温度梯度（~2000°C至2400°C）和硅/碳源的气体输运动力学，实现6英寸碳化硅晶体的高质量生长。创新点包括利用原位缺陷监控系统和动态热场优化算法，显著降低微管密度至<1 cm⁻²，并支持大尺寸晶体扩径（从4英寸到6英寸）。
融资次数
7
员工数量
100-499人
专利数量
36
经营范围
电子元器件制造;电子专用材料制造;以自有资金从事投资活动;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;新材料技术推广服务;电子专用材料研发;合成材料制造（不含危险化学品）;电力电子元器件销售;合成材料销售;新材料技术研发;电子专用材料销售;货物进出口;技术进出口
主营业务
基于产学研合作，从事碳化硅单晶材料的研发、生产和销售，以提供高质量半导体衬底为核心业务，服务于第三代半导体产业。
广州南砂晶圆半导体技术有限公司
其他有限责任公司
￥3.568亿
2018-09-21
王垚浩
020-39006699
summitcrystal@summitcrystal.com
广州市南沙区万顷沙镇正翔路8号