尾气处理设备
该设备用于处理半导体生产过程中产生的有害气体排放（如酸性或挥发性有机化合物），通过净化技术（如洗涤、催化燃烧）实现环保合规和安全生产。
清洗设备
该设备用于去除晶圆表面的污染物（如颗粒、金属离子或有机物），通过湿法或干法清洗技术维持制造环境的洁净度，保障半导体产品的良率和品质。
快速热处理及退火设备
该设备用于晶圆的快速加热处理，包括掺杂剂激活和晶格缺陷修复，以提升半导体材料的电气性能和可靠性，确保晶圆在高温处理中的稳定性。
薄膜沉积设备
该设备通过在晶圆表面沉积纳米级薄层材料（如化学气相沉积CVD或物理气相沉积PVD），用于形成导电、绝缘或功能层，支持晶圆的结构构建和性能优化。
刻蚀设备
该设备用于半导体制造过程中对晶圆表面进行选择性材料移除，通过化学或物理刻蚀技术实现高精度微细加工，是集成电路制造的核心环节之一。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
15
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备制造；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；显示器件制造；显示器件销售；软件开发；技术进出口；货物进出口；进出口代理；物业管理；非居住房地产租赁(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。
主营业务
半导体关键设备的研发、制造及再制造，重点覆盖刻蚀、薄膜沉积、热处理、清洗和尾气处理等核心领域，致力于实现国产化自主可控。
长三角一体化示范区（浙江嘉善）嘉芯半导体设备科技有限公司
其他有限责任公司
￥5.2798亿
2021-04-29
周伟芳
15026525235
xiabb@pdsti.com
浙江省西塘镇南苑西路999号3A