金刚石掺杂与表面处理技术
该技术针对硼或氮元素进行精准掺杂，通过原位沉积和等离子体后处理工艺，实现对金刚石电导率、导热性和机械性能的定制。创新点包括使用脉冲掺杂方法和表面钝化层，减少晶界缺陷，提升金刚石的电子迁移率和热扩散系数。技术解决了工业用金刚石在极端环境下的稳定性问题，确保产品在高温、高压应用中的耐用性和可靠性。
微波等离子体CVD技术（MPCVD）
天璇半导体采用先进的微波等离子体CVD技术，通过精确控制微波功率、等离子体密度和衬底温度，实现金刚石薄膜的高效生长。该技术通过优化气体混合比例（如甲烷和氢气）和压力参数，显著降低了生长缺陷率，确保金刚石晶格结构的高完整性，从而解决CVD金刚石产业链中大规模、低成本生产的瓶颈问题。创新点包括采用高频微波源和高功率密度反应腔设计，提高生长速率并减少杂质掺入，实现纳米级表面平整度和大尺寸金刚石晶圆制备。
融资次数
2
员工数量
50-99人
专利数量
28
经营范围
一般项目：半导体器件专用设备销售；新材料技术研发；电子专用材料研发；电子专用材料销售；新材料技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口；珠宝首饰批发；珠宝首饰零售；非金属矿物制品制造；半导体器件专用设备制造（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
作为CVD金刚石产业链服务商，天璇半导体专注于研发和生产高品质培育钻石及高端工业金刚石产品，致力于解决产业链关键技术挑战，满足珠宝和工业应用需求。
河南天璇半导体科技有限责任公司
其他有限责任公司
￥1.2亿
2021-10-21
方海江
1505913257@qq.com
河南自贸试验区郑州片区（郑东）龙湖中环路与龙源西四街交叉口启迪郑东科技城产促中心2楼226号