脉冲调制等离子体电源技术
此技术利用脉冲宽度调制（PWM）策略，对等离子体电源进行精确时域控制，实现脉冲式等离子体放电。创新点在于多级脉冲调节系统和实时电流反馈机制，有效减少热损伤和材料应力。通过纳秒级脉冲调控，优化了等离子体密度和电离率，显著增强工艺可重复性和材料选择性蚀刻性能。设计融合了FPGA和嵌入式控制单元，支持复杂算法集成。
高频等离子体电源技术
该技术采用先进的高频电源设计（如RF或微波频率），实现等离子体的精准生成和稳定控制。创新点包括高效功率转换模块和自适应阻抗匹配算法，确保低能量损耗和均匀等离子体分布，适用于高精度真空环境下的材料处理。核心原理基于电磁场耦合优化，通过数字化控制系统实现动态调节，显著提升了能源利用率和过程可控性。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
156
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子体电源系统的研发、设计、生产制造、应用维护以及相关技术的进出口与国内外贸易
深圳市恒运昌真空技术有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301