光刻机双工件台系统技术
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产品详情
华卓精科的核心技术领域为光刻机核心子系统，特别是双工件台系统技术。该技术是高端光刻机最关键的子系统之一，负责晶圆的超精密、高速步进运动和精确定位。其核心包括：1) 精密的机械结构设计与制造；2) 超精密的平面光栅位移测量系统，用于纳米级位移反馈；3) 复杂多自由度运动控制算法与控制器；4) 气浮平面电机实现纳米级定位和平稳高速运动。核心创新点在于打破国际垄断，实现了面向先进制程节点的双工件台系统的国产化自主开发、制造与集成，并在精度（如亚纳米级测量与控制）、速度（高通量步进）、抗振及同步运动控制等关键技术指标上达到或接近国际领先水平。
融资次数
11
员工数量
100-499人
公司简介
北京华卓精科科技有限公司,为北京华卓精科科技股份有限公司前身,成立于2012年5月9日。 2015年8月10日,有限公司整体变更为股份有限公司,公司名称变更为北京华卓精科科技股份有限公司。
经营范围
技术开发、技术推广、技术转让、技术咨询、技术服务、技术培训；计算机系统服务、数据处理、计算机维修；基础软件服务、应用软件服务；货物进出口、技术进出口、代理进出口；工程和技术研究与试验发展；销售机械设备、通讯设备、金属材料、电子产品、计算机、软件及辅助设备、五金交电；半导体器件专用设备制造；电子元器件与机电组件设备制造；出租办公用房；企业管理。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
光刻机工件台系统的研发与制造，为集成电路芯片制造提供核心装备技术解决方案
北京华卓精科科技股份有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥2.5239亿
2012-05-09
孙国华
010-87142599
info@u-precision.com
北京市北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团)