无掩膜纳米激光光刻系统
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产品详情
华维纳研发的LDW系列无掩膜激光直写光刻系统（如LDW-P1500）采用高精度激光束直接在基底上进行纳米级图案化，省去了传统光刻中的掩膜环节。核心技术在于利用空间光调制器（SLM）和精确的光学路径控制，实现亚微米至纳米级分辨率（例如150nm以下），支持动态图形生成和实时校准。创新点包括高速扫描算法与多波长激光集成，提升加工效率的同时保持边缘精度。
融资次数
2
员工数量
-
公司简介
华维纳是一家纳米光刻技术和相关设备研发商，该公司研发成功LDW-P1500无掩膜纳米激光光刻系统、激光诱导应变的表面微纳结构制造新方法等，并生产出LDW-P系列、LDW-L系列、LDW-V系列的无掩模纳米光刻机等产品。
经营范围
研发、销售：纳米光电子设备；纳米技术开发。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
纳米光刻技术和相关设备的研发与制造
苏州华维纳纳米科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥120万
2011-04-26
刘前
0512-67263269
szhuaweina@163.com
苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼107室