硅晶圆表面金刚石薄膜均匀沉积技术
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产品详情
该技术基于大面积热丝化学气相沉积（Hot Filament Chemical Vapor Deposition, HFCVD）方法，能够在硅晶圆表面实现均匀的微米级金刚石薄膜沉积。关键创新点包括针对大尺寸硅基体的均匀覆盖、高沉积速率和低成本生产工艺。具体过程涉及使用热丝激活甲烷和氢气等前驱气体，在硅衬底上沉积出晶化金刚石层，通过精确控制温度、压力和气流参数来确保薄膜厚度和均匀性。
融资次数
1
公司简介
烟台大爱熠炜新材料有限公司，成立于2024年10月。其创始团队源自上海交大大面积热丝化学气相沉积研究项目组，成功掌握了硅晶圆表面金刚石薄膜均匀沉积技术，可在大尺寸硅基体表面沉积微米级金刚石薄膜，沉积速率快，沉积成本低，具备远超目前市场上碳化硅、氮化镓等半导体材料的热导率。
经营范围
一般项目：新材料技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；非金属矿物材料成型机械制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；非金属矿物制品制造；非金属矿及制品销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；泵及真空设备制造；泵及真空设备销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
基于公司简介，主营业务为硅晶圆表面金刚石薄膜均匀沉积技术的开发和应用，具体特点包括能够在大尺寸硅基体表面快速、低成本地沉积微米级金刚石薄膜，其热导率远超市场现有半导体材料如碳化硅和氮化镓。
烟台大爱熠炜新材料有限公司
其他有限责任公司
￥54万
2024-10-14
郭杰
中国（山东）自由贸易试验区烟台片区福莱山街道万寿山路5号内2号楼3007室