公司简介
佛仪科技(佛山)有限公司成立于2019年2月,主要从事半导体装备及关键零部件研发制造和销售。公司创始团队成员来自新加坡国,曾在LamResearch、AppliedMaterial、MKS及Seagate Technology等国际知名半导体制造商担任高级研发负责人,具有近30多年的半导体装备及关键零部件研制及企业管理经验。公司业务领域聚焦于半导体装备及关键零部件研发、制造,新技术均来源于自主研发。包括集成电路装备专用大功率射频电源分子束源炉远程等离子源、薄膜真空计、蝶阀等,在国内属于领先可梯队,瞄准半导体先进制造,产业化后对于国内半导体产业健康、持续发展具有重要意义。其中,公司掌握的射频电源技术,是新一代电源的创新设计,能显著改善电源性能,提升相关装备的工艺水平,在国内处于领先水平,并且比肩国际先进水平。