溅射靶材回收再利用技术
此技术通过创新的物理和化学方法回收使用过的溅射靶材残片,核心创新点包括:开发高效无污染熔炼再纯化工艺,将回收材料纯度恢复至99.99%以上;采用固溶强化和微观结构控制,再生靶材性能接近原生材料;结合闭环式质量管理体系,实现资源循环利用,降低环境影响。该技术在全球半导体行业中具有可持续性优势。
超高纯度金属溅射靶材技术
该技术聚焦于半导体级溅射靶材的研发与制造,核心创新点包括:采用多级电解除杂和区域熔炼工艺实现目标金属(如铝、铜、钛)纯度达99.9999%以上,有效减少杂质对半导体的影响;通过热等静压(HIP)等先进成形技术确保靶材的高均匀性和致密性,降低晶须生成风险;结合精密加工与表面处理优化溅射性能,提升靶材利用率和沉积效率。该技术已通过国际SEMI标准认证,支持高精度半导体制造需求。
A股代码
300666.SZ
员工数量
500-999人
专利数量
1552
经营范围
一般项目:电子专用材料研发;电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子元器件制造;电子元器件零售;电子专用设备制造;电子专用设备销售;有色金属压延加工;常用有色金属冶炼;有色金属铸造;金属材料制造;新材料技术研发;软件开发;信息系统集成服务;智能控制系统集成;物联网应用服务;物联网技术服务;人工智能基础资源与技术平台(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。许可项目:检验检测服务;技术进出口;进出口代理;货物进出口(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)。
主营业务
半导体溅射靶材的研发、生产和销售
宁波江丰电子材料股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
¥2.6542亿
2005-04-14
姚力军
0574-58127888
info@kfmic.com
浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路