静电吸盘（ESC）
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产品详情
静电吸盘是用于半导体制造的核心设备组件，通过静电吸附原理固定和温控晶圆。产品包括单区、多区 ESC，支持多种晶圆尺寸（如300mm），应用在蚀刻、物理气相沉积（PVD）、刻蚀等制程中，具备高吸附力、低颗粒污染和热管理功能，以提高良率和设备可靠性。