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新ALN加热器
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产品 - 静电吸盘(ESC)
产品 - 新ALN加热器
产品 - 翻新ALN加热器
产品详情
研发和生产新型ALN加热器,材料采用氮化铝陶瓷,具有高导热性、低热膨胀系数和优异的电绝缘性能。适用于半导体制造设备中的高温环境,如快速热处理(RTP)、化学气相沉积(CVD)等过程,确保晶圆加工温度的均匀性和稳定性。
高端装备
智能制造
融资次数
1
专利数量
19
公司简介
杭州之芯半导体有限公司是一家半导体设备研发商,以ALN加热器翻新与新品制作、静电吸盘(简称“ESC”)的研发、生产和销售为主营业务。
主营业务
半导体设备研发
公司全称
杭州之芯半导体有限公司
公司类型
有限责任公司(外商投资企业法人独资)
注册资本
¥3,700万
成立时间
2019-09-11
法定代表人
贺贤汉
电话
0571-86802099
邮箱
hanly@ferrotec.com.cn
地址
浙江省杭州市钱塘新区江东三路6515号