真空集成传送平台方案
利用真空传送平台构建的解决方案,整合多个机械手和传送模块在单一真空环境中,实现晶圆或器件的连续、无缝传输,支持定制化配置以匹配不同生产线的需求。
晶圆自动分类排序系统
基于SORTER技术的解决方案,集成传感器和算法自动识别晶圆缺陷或参数,进行高效分类和排序,优化生产流程,减少人工干预并提高良品率。
高精度真空直驱传送机器人方案
基于真空直驱机械手构建的解决方案,使用直接驱动技术避免齿轮损耗,在真空环境下提供超高定位精度(微米级),适用于精细制造步骤,减少振动和设备维护需求。
大气环境机器人自动化系统
采用大气机械手构建的解决方案,在无真空要求的环境中执行器件定位、装配或测试任务,提供多种臂长和末端执行器选项,实现高重复精度和灵活集成。
真空大负载搬运系统
利用真空大负载机械手构建的解决方案,在真空环境中搬运重型晶圆或太阳能硅片(负载可达数十公斤),通过高精度轨迹控制和真空兼容材料,确保稳定传送并适应高应力工艺。
半导体晶圆自动化传送系统
基于EFEM(设备前端模块)构建的解决方案,实现晶圆在FOUP(前开门统一盒)和处理设备之间的全自动传送,集成机械手、加载端口和控制系统,减少人为操作和颗粒污染风险,提高晶圆处理效率。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
1
经营范围
(电子、计算机、机电)领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务,商务咨询,市场信息咨询与调查(不得从事社会调查、社会调研、民意调查、民意测验),机械设备及配件、机电设备、仪器仪表、船舶设备及配件、环保设备、照明设备、五金交电、电子产品、办公用品、家具的销售。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
素珀电子主营业务是研发及生产系列洁净机器人手臂产品,包括真空大负载机械手、大气机械手、真空直驱机械手、EFEM、SORTER和真空传送平台,这些产品专为高洁净环境设计,服务于半导体、太阳能、LED和FPD等领域的自动化需求。
素珀电子科技(上海)有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥448万
2013-03-06
朱玉东
13701920536
xinhong.zhang@supersh.net.cn
中国(上海)自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室