真空传送平台
专用于真空环境的晶圆传输系统，实现多个真空腔体间的自动化晶圆传送。包括传送臂、导轨、真空密封组件和驱动机制（如磁悬浮或线性电机）。设计确保真空兼容性（材料选择如铝或不锈钢，表面处理减少释气）和高可靠性，支持真空度从粗真空到超高真空（10^-9 torr）范围。整合传感器监控系统（如位置和压力传感），保障传输过程中的晶圆安全和无中断操作。适用于半导体、光伏（太阳能）制造中的簇集工具或连线生产设备，提高制程连续性和产能。
SORTER
晶圆分类或排序设备，用于根据晶圆的尺寸、厚度、缺陷或其他特性进行分类和整理。集成高分辨率光学传感器或激光扫描系统，实现非接触式测量和快速检测（精度可达微米级）。具备多工位处理能力，支持晶圆盒（如SMIF）的自动装载和卸载。设计强调高速操作（每分钟分类多个晶圆）、低错误率和数据分析功能（提供SPC统计控制）。用于半导体后段制程、LED生产，以提高良率、减少物料浪费和优化生产线效率。
EFEM
设备前端模块（Equipment Front End Module）是半导体自动化晶圆处理的核心系统，连接晶圆盒（如FOUP或FOSB）和工艺设备。包含机器人手臂（用于晶圆抓取）、晶圆映射系统（检测晶圆位置和厚度缺陷）、空气净化单元（维持局部ISO Class 1洁净度）和控制器。实现晶圆的自动装载/卸载、对中和清洗流程，支持多种规格晶圆（包括12英寸）。设计重点为低颗粒污染、高吞吐量（每小时处理上百片晶圆）和模块化集成，适用于半导体、太阳能电池制造，保障制程连续性和可靠性。
真空直驱机械手
利用直驱电机技术的真空环境下机器人手臂，无中间齿轮或皮带传动，直接在高真空腔体中实现高动态运动。具有优异的精度（可达纳米级定位）、低振动和高速响应特性（加速度超过1G）。设计考虑耐真空性（如无润滑轴承或干润滑），减少气体释放和颗粒污染。用于半导体敏感制程（如沉积或刻蚀），支持大范围真空度（从常压到10^-8 torr）。其优势包括低维护需求、长寿命和适用于严苛环境。
大气机械手
在无尘室大气环境下操作的自动化机器人手臂，用于半导体制造中的晶圆装载、卸载和定位。设计符合ISO Class 1-5洁净标准，具备低颗粒生成特性（如平滑表面和封闭传动机构），支持多种晶圆尺寸处理（如200mm、300mm）。集成精密传感器和伺服控制系统，实现快速、精准的运动（运动精度通常为±0.1mm）。适用于半导体、FPD（平板显示）生产线，提高生产效率和良率，同时减少人为接触导致的污染风险。
真空大负载机械手
专为高真空环境设计的半导体设备机器人手臂，能够搬运大尺寸晶圆或其他重负载（通常负载能力为50-200公斤）。采用低释气材料（如不锈钢或特殊涂层）减少颗粒污染，具有高精度定位（可达微米级）和抗摩擦设计。用于半导体、LED等制造领域的真空腔体中，实现晶圆的自动化传输，保障洁净室环境中的稳定运行。产品特性包括热真空兼容、耐化学腐蚀和高速运动控制。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
1
经营范围
（电子、计算机、机电）领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务，商务咨询，市场信息咨询与调查（不得从事社会调查、社会调研、民意调查、民意测验），机械设备及配件、机电设备、仪器仪表、船舶设备及配件、环保设备、照明设备、五金交电、电子产品、办公用品、家具的销售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
素珀电子主营业务是研发及生产系列洁净机器人手臂产品，包括真空大负载机械手、大气机械手、真空直驱机械手、EFEM、SORTER和真空传送平台，这些产品专为高洁净环境设计，服务于半导体、太阳能、LED和FPD等领域的自动化需求。
素珀电子科技（上海）有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥448万
2013-03-06
朱玉东
13701920536
xinhong.zhang@supersh.net.cn
中国（上海）自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室