产品&解决方案
利用真空传送平台构建的解决方案，整合多个机械手和传送模块在单一真空环境中，实现晶圆或器件的连续、无缝传输，支持定制化配置以匹配不同生产线的需求。
基于SORTER技术的解决方案，集成传感器和算法自动识别晶圆缺陷或参数，进行高效分类和排序，优化生产流程，减少人工干预并提高良品率。
基于真空直驱机械手构建的解决方案，使用直接驱动技术避免齿轮损耗，在真空环境下提供超高定位精度（微米级），适用于精细制造步骤，减少振动和设备维护需求。
采用大气机械手构建的解决方案，在无真空要求的环境中执行器件定位、装配或测试任务，提供多种臂长和末端执行器选项，实现高重复精度和灵活集成。
利用真空大负载机械手构建的解决方案，在真空环境中搬运重型晶圆或太阳能硅片（负载可达数十公斤），通过高精度轨迹控制和真空兼容材料，确保稳定传送并适应高应力工艺。
基于EFEM（设备前端模块）构建的解决方案，实现晶圆在FOUP（前开门统一盒）和处理设备之间的全自动传送，集成机械手、加载端口和控制系统，减少人为操作和颗粒污染风险，提高晶圆处理效率。
专用于真空环境的晶圆传输系统，实现多个真空腔体间的自动化晶圆传送。包括传送臂、导轨、真空密封组件和驱动机制（如磁悬浮或线性电机）。设计确保真空兼容性（材料选择如铝或不锈钢，表面处理减少释气）和高可靠性，支持真空度从粗真空到超高真空（10^-9 torr）范围。整合传感器监控系统（如位置和压力传感），保障传输过程中的晶圆安全和无中断操作。适用于半导体、光伏（太阳能）制造中的簇集工具或连线生产设备，提高制程连续性和产能。
晶圆分类或排序设备，用于根据晶圆的尺寸、厚度、缺陷或其他特性进行分类和整理。集成高分辨率光学传感器或激光扫描系统，实现非接触式测量和快速检测（精度可达微米级）。具备多工位处理能力，支持晶圆盒（如SMIF）的自动装载和卸载。设计强调高速操作（每分钟分类多个晶圆）、低错误率和数据分析功能（提供SPC统计控制）。用于半导体后段制程、LED生产，以提高良率、减少物料浪费和优化生产线效率。
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融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
1
公司简介
素珀电子是一家半导体洁净机器人手臂研发及生产商，专注于真空大负载机械手、大气机械手、真空直驱机械手、EFEM、SORTER、真空传送平台等系列产品的研发及生产，公司业务涵盖了半导体、太阳能、LED、FPD等领域。
经营范围
（电子、计算机、机电）领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务，商务咨询，市场信息咨询与调查（不得从事社会调查、社会调研、民意调查、民意测验），机械设备及配件、机电设备、仪器仪表、船舶设备及配件、环保设备、照明设备、五金交电、电子产品、办公用品、家具的销售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
素珀电子主营业务是研发及生产系列洁净机器人手臂产品，包括真空大负载机械手、大气机械手、真空直驱机械手、EFEM、SORTER和真空传送平台，这些产品专为高洁净环境设计，服务于半导体、太阳能、LED和FPD等领域的自动化需求。
素珀电子科技（上海）有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥448万
2013-03-06
朱玉东
13701920536
xinhong.zhang@supersh.net.cn
中国（上海）自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室