EFEM系统集成技术
整合机械手、传感器和空气过滤器形成模块化前端系统，创新点在于人工智能视觉引导系统，实时监控晶圆状态并优化路径规划，通过多轴协同控制实现无缝对接半导体设备端口，减少晶圆传输错误率和污染风险。
真空直驱机械手技术
基于直接驱动伺服电机（无齿轮或皮带传动），在真空环境下实现纳米级定位精度，创新点包括使用稀土永磁电机结合闭环控制反馈系统，有效消除中间传动部件摩擦，降低颗粒物产生并提高响应速度（响应时间<10ms），满足超净环境下的洁净标准。
真空大负载机械手技术
该技术专门设计用于高真空环境（<10^-6 Pa）中搬运重载荷（>50 kg），采用磁悬浮轴承和真空兼容合金材料实现超低摩擦运行，创新点在于集成智能应力补偿算法，可自适应调整负载平衡，减少因重力或真空压力导致的机械变形，确保高精度搬运。
融资次数
4
员工数量
小于50人
专利数量
1
经营范围
（电子、计算机、机电）领域内的技术开发、技术转让、技术咨询和技术服务，商务咨询，市场信息咨询与调查（不得从事社会调查、社会调研、民意调查、民意测验），机械设备及配件、机电设备、仪器仪表、船舶设备及配件、环保设备、照明设备、五金交电、电子产品、办公用品、家具的销售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
素珀电子主营业务是研发及生产系列洁净机器人手臂产品，包括真空大负载机械手、大气机械手、真空直驱机械手、EFEM、SORTER和真空传送平台，这些产品专为高洁净环境设计，服务于半导体、太阳能、LED和FPD等领域的自动化需求。
素珀电子科技（上海）有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥448万
2013-03-06
朱玉东
13701920536
xinhong.zhang@supersh.net.cn
中国（上海）自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室