高品质磁控直拉单晶硅用Ф300mm MCZ超导磁体制备技术
该技术采用超导体材料（如NbTi或Nb3Sn）构建磁场系统，应用于磁控直拉法（Magnetic Czochralski, MCZ）单晶硅生长工艺中，通过超导磁体提供强大而稳定的磁场（通常可达1-5特斯拉），精确控制熔融硅的流动和杂质分布，实现高品质单晶硅生长。创新点包括：在国内首次突破300毫米直径晶圆的完全自主知识产权生产体系，涵盖超导线圈设计、低温冷却系统（液氦或机械制冷）、磁场均匀性优化及实时控制算法；技术解决了国外技术垄断问题，提升晶体生长效率和产品质量，适用于半导体级硅衬底制备。
融资次数
1
员工数量
100-499人
专利数量
131
经营范围
超导磁体和磁体部件（含专用复合电缆）的开发与设计、生产、销售和技术咨询；销售制冷媒质（液氦、氦气、液氮、制冷机）及超导材料、有色金属材料及合金、低温材料器件；货物及技术的进出口业务（国家禁止或限制进出口的货物、技术除外）。（上述经营范围中凡涉及许可项目的，凭许可证明文件、证件在有效期内经营；未经许可不得经营）
主营业务
超导磁体高端装备制造业
西安聚能超导磁体科技有限公司
有限责任公司(中外合资)
￥8,500万
2011-06-15
冯勇
029-86512327
yyj0810@163.com
陕西省西咸新区泾河新城正阳大道北段2000号