精密耐高温陶瓷配件技术
该技术涉及高温烧结和精密加工工艺(如CNC机械加工和低温共烧陶瓷LTCC技术),制造高精度陶瓷部件,以适应严酷的半导体环境。创新点包括复合陶瓷配方(如氧化铍增强)提供优异的抗腐蚀和热稳定性,以及微观结构设计增强抗热冲击性能,确保在高温、高真空条件下的耐用性。
先进陶瓷聚焦环技术
此技术采用高性能陶瓷材料(如掺氧化锆的氧化铝复合材料)和表面处理工艺(如等离子体喷涂涂层),以优化刻蚀工艺中的等离子体聚焦效果和稳定性。创新点包括多层陶瓷结构设计增强抗蚀能力,以及热应力控制机制提升均匀性,减少粒子污染。具体创新体现在提升刻蚀速率和晶圆良率。
高纯度金属靶材技术
该技术专注于高纯度金属材料的研发和生产,通过创新性的提纯工艺(如区域熔炼和真空熔炼)以及晶粒尺寸控制(纳米级晶界工程),确保溅射过程中薄膜沉积的均匀性和低缺陷密度。创新点包括杂质含量控制在ppb(亿分之一)级别,以及优化晶粒结构以减少薄膜缺陷,适用于半导体设备中的薄膜沉积。
融资次数
2
员工数量
小于50人
专利数量
101
经营范围
一般项目:电子专用材料研发;电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子元器件制造;电子元器件与机电组件设备销售;其他电子器件制造;新材料技术研发;磁性材料生产;磁性材料销售;密封件制造;密封件销售;特种陶瓷制品制造;特种陶瓷制品销售;金属制品研发;金属链条及其他金属制品制造;塑料制品制造;高性能纤维及复合材料制造;有色金属压延加工;电子专用设备销售;电子专用设备制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);机械设备研发;电气设备修理;专用设备修理;金属制品修理;仪器仪表修理;资源再生利用技术研发;生产性废旧金属回收;再生资源回收(除生产性废旧金属);再生资源销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;软件开发;计算机系统服务;智能控制系统集成;信息系统集成服务;技术进出口;货物进出口;会议及展览服务(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
东微电子主营业务是研发、生产和销售用于先进微电子芯片制造的高附加值耗材,包括溅射靶材、陶瓷配件和聚焦环等关键材料。这些产品服务于半导体芯片、显示器、存储器和太阳能等产业的高技术生产环节,提供高性能、可靠的特种电子材料解决方案。
河南东微电子材料有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥1.4754亿
2018-04-13
王伟涛
omiusp@orientalmaterials.com
郑州航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层