合肥欣奕华智能机器股份有限公司成立于2013年，是中国先进的泛半导体高端装备提供商，主营泛半导体真空镀膜设备、洁净移载设备、高速高精密设备等产品的研发、生产、销售及技术服务。公司以国家重大战略需求为导向做产业，为行业解决技术难题助力行业发展，业务覆盖显示、集成电路、光伏行业等泛半导体领域全球产业链多家一级客户。凭借先进的技术，以及不断创新的能力，合肥欣奕华已成为泛半导体领域制造重要的赋能者。 合肥欣奕华在合肥新站区建设了8万平方米的研发和生产制造基地。合肥欣奕华作为国家高新技术企业，主持和参与多项国家重点研发计划和国家电子信息产业振兴和技术改造专项，牵头编制相关行业标准，受邀参加了国家“十三五”科技创新成就展。先后通过了安徽省企业技术中心、安徽省新型显示用机器人工程研究中心、安徽省博士后科研工作站等创新平台认定，荣获中国产学研合作创新成果奖一等奖、安徽省科学技术奖一等奖、中国新型显示产业链发展卓越贡献奖、中国新型显示产业链发展特殊贡献奖、中国新型显示产业链发展创新突破奖、安徽省职工技术创新成果一等奖、安徽省质量奖、安徽省名牌产品等多项荣誉。 合肥欣奕华作为一家深耕泛半导体高端装备领域的企业，通过持续研发和技术创新，攻克了一系列产业前沿技术的关键技术难题，形成了真空镀膜、洁净移载和高速高精密三大产品和技术平台。公司依托三大技术路线，聚焦于显示、集成电路、光伏泛半导体领域，成功开发出多款高端装备，确保公司在多元化业务拓展中保持竞争优势。 真空镀膜技术方面，公司从2015年开始布局OLED显示面板的真空镀膜技术研发，旨在攻克OLED面板的真空镀膜产业化难题。显示蒸镀设备属于OLED显示面板最核心的关键工艺装备，之前主要被国外厂商垄断，合肥欣奕华目前已完成从G1到高世代显示蒸镀设备系列产品国产化开发，小世代整机、蒸发源和高精密对位系统等高世代蒸镀设备关键核心装置已成功交付客户量产应用。公司通过创新设计加热机构和冷却单元、开发相关调控装置和控制程序，保证了蒸发温度场的均匀性控制精度，蒸发粒子在材料平衡蒸气压下进行，从而实现了蒸镀膜厚均匀性≤3%的国际先进水平。 通过多年的技术积累，合肥欣奕华2020年将OLED真空镀膜技术创新应用到光伏钙钛矿电池片核心工艺制程，并与龙头客户快速完成开发和量产应用，通过技术应用拓展，降低研发成本，加速产品量产应用和迭代。在钙钛矿光伏领域，公司已开发出包括小试到GW级量产系列化钙钛矿蒸镀设备产品，为钙钛矿电池的大规模生产提供了关键设备支持，目前全球已投资建设的4条GW级量产线均使用了公司研制的设备。 洁净移载技术方面，公司主要针对显示面板、集成电路等领域的刻蚀、镀膜、涂胶显影等核心工艺制程提供高洁净度、高精度的物料搬运和传输技术，确保核心工艺制程高效率和高良率量产。在集成电路领域，公司研发的半导体自动物料搬运系统（AMHS）主要应用于光刻、刻蚀、镀膜等系列核心工艺制程的晶圆搬运和存储，实现各核心工艺制程间物料的智能高速搬运，确保生产高效稳定。公司是国内少数打破国外垄断的企业之一，已在国内多家8寸和12寸半导体客户晶圆厂实现稳定量产应用。 在半导体显示领域，合肥欣奕华解决了G6-G10.5系列产品线超大超薄易碎玻璃基板的洁净搬送技术难题，研发的洁净搬运机器人主要应用于半导体显示刻蚀、镀膜、涂胶显影等核心工艺制程的基板智能搬运和传输，确保高洁净环境下的生产效率和产品良率。 高速高精密技术方面，公司主要针对新型显示和集成电路先进封装进行技术攻关和开发，实现相关领域关键核心设备的产业化应用。在集成电路先进封装方面，公司主要解决先进封装高速高精度贴片核心工艺制程技术，满足先进封装领域对贴片速度和精度的严格要求，公司通过创新性技术开发，实现直接式高速倒装贴片技术，相比于国外垄断的传统贴片技术，贴片速度超5倍以上，极大提升了客户的生产效率，降低了生产成本。在半导体新型显示方面，公司攻克了微米级LED芯片高速高精度巨量转移技术开发，开发出全球首台大尺寸Mini LED巨量转移设备，实现批量量产；同时完成了Micro LED激光巨量转移设备开发，已经交付客户量产应用。 合肥欣奕华通过多年的技术和经验积累，依托真空镀膜、洁净移载、高速高精密三大产品线，形成了5+6技术开发和设计中心平台，提高了共性技术开发和设计复用率，成为推动中国高端装备制造自主化进程的重要力量。