半导体化学机械抛光(CMP)抛光液
主要用于氧化硅(SiO2)介电层的化学机械抛光(CMP)。该产品是高端半导体制造中的关键耗材,应用于集成电路(IC)制造过程中的平坦化工序,特别是逻辑芯片和存储芯片(如DRAM, 3D NAND)的生产。其核心技术源于美国Advanced NanoSurfaces LLC (ANS),专注于实现纳米级的高精度、高均匀性表面平坦化以及可控的材料去除速率,以满足先进制程节点的严苛要求。