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邀请函-湖南兴晟与您相约SEMI-e 2024第六届深圳国际半导体展

发布者:兴晟新材
时间:2024-06-17
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尊敬的业界同仁:您好!

       诚挚邀请您参加6月26-28日深圳国际会展中心(宝安)举办的”SEMI-e 2024第六届深圳国际半导体展”,公司将携核心产品及最新解决方案,在6号馆6O05号展位恭候各界朋友光临参观、洽谈。

     6月26-28日,深圳国际会展中心,不见不散!

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【链接】



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湖南兴晟新材料科技有限公司是一家专业从事高温、高纯、耐腐蚀材料与制品研发及生产的企业,依托多位行业专家的紧密合作,开发出了适合实际生产的涂层制备工艺与装备,拥有CVD SiC涂层、TaC涂层及陶瓷基复合材料生产的核心技术。公司为LED、光伏、半导体、冶金、电子等行业的MOCVD装备、单晶硅炉、PECVD炉、单晶SiC炉、单晶CaN炉及第三代半导体外延炉、氧化炉、离子注入机、刻蚀机提供耐温、耐腐、高纯零部件/耗材,并为用户产品质量优化、设备改造提供高温高纯材料/零部件解决方案。



CVD SiC涂层产品系列

产品一LEDCVD SiC石墨托盘

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攻克了大面积CVD SiC涂层易开裂、抗热震性能差、易产生颗粒疵点等难题及其专用装备设计制造难题,开发出大尺寸1100x1100CVD SiC涂层C/C复合材料盖板、CVD SiC涂层K465i~800石墨托盘(LED芯片外延生产用)等产品,具有纯度高,结构均匀致密,抗热震性能好、使用寿命长等一系列优点。同时具有长时间抗氧化、抗烧蚀特点。并且从产品制备到生产装备皆拥有完全自主知识产权,填补了国内SiC涂层多项高端技术产品空白。

产品二:半导体外延CVD SiC石墨部件

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攻克了1800°C高温CVD SiC涂层易开裂、抗热震性能差等技术难题,开发出46812时系列CVD SiC涂层半导体单晶硅外延盘、热场,SiC单晶外延盘、热场,纯度达到ppb(9N),使用寿命高于国外同类产品。

产品三:CVD SiC涂层热场材料

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攻克了异形整体CVD SiC涂层技术(全涂层,无漏涂),具有无开裂、抗热震性好、无颗粒疵点等特点。开发出大尺寸 热场石墨、硬毡、C/C复合材料等专用热场材料的CVD SiC涂层技术。具有纯度高,结构均匀致密,抗热震性能好、使用寿命长等系列优点。为半导体硅单晶、外延炉、单晶SiC外延炉提供整套解决方案与产品服务。
CVD TaC涂层产品系列



CVD TaC涂层坩埚一SiC晶圆生长坩埚等

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