邀请函-湖南兴晟与您相约SEMI-e 2024第六届深圳国际半导体展
尊敬的业界同仁:您好! 诚挚邀请您参加6月26-28日在深圳国际会展中心(宝安)举办的”SEMI-e 2024第六届深圳国际半导体展”,公司将携核心产品及最新解决方案,在6号馆6O05号展位恭候各界朋友光临参观、洽谈。 6月26-28日,深圳国际会展中心,不见不散!
CVD SiC涂层产品系列
产品一:LED用CVD SiC石墨托盘
攻克了大面积CVD SiC涂层易开裂、抗热震性能差、易产生颗粒疵点等难题及其专用装备设计制造难题,开发出大尺寸1100x1100的CVD SiC涂层C/C复合材料盖板、CVD SiC涂层K465i~800石墨托盘(LED芯片外延生产用)等产品,具有纯度高,结构均匀致密,抗热震性能好、使用寿命长等一系列优点。同时具有长时间抗氧化、抗烧蚀特点。并且从产品制备到生产装备皆拥有完全自主知识产权,填补了国内SiC涂层多项高端技术产品空白。
产品二:半导体外延CVD SiC石墨部件
攻克了1800°C高温CVD SiC涂层易开裂、抗热震性能差等技术难题,开发出4、6、8、12时系列CVD SiC涂层半导体单晶硅外延盘、热场,SiC单晶外延盘、热场,纯度达到ppb级(9N),使用寿命高于国外同类产品。
产品三:CVD SiC涂层热场材料
CVD TaC涂层坩埚一SiC晶圆生长坩埚等